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最为先进的EUV 极紫外光源 光刻机

发布时间:2022-01-05 作者:admin 来源:网络整理 浏览:


导读:晋级!荷兰光刻机巨头ASML扩建无锡技术效劳基地...

决策主力记者:朱成祥 决策主力编纂:张海妮

5月14日,无高新区与阿斯麦 ASML 签署战略竞争协议,扩建晋级光刻办法技术效劳 基地。

据理解,阿斯麦 ASML 光刻办法技术效劳 基地涵盖两大业务板块——技术中心和供应链效劳中心。此中,技术中心领有近200人规模专业团队,处置惩罚光刻办法的维护、晋级等技术效劳,面积约2000余平方米;供应链效劳中心则为客户提供高效的供应链效劳,为办法装置、晋级及消费经营等所需的物料提供更高水准的物流撑持,面积约2000余平方米。

众所周知,光刻机为半导体制造的核心办法,股票配资网,也被誉为“工业皇冠上的宝石”。而ASML在最近十几年来异军突起,跨越尼康、佳能,成为光刻机领域执牛耳者。目前,最为先进的EUV 极紫外光源 光刻机,全世界仅有ASML一家能够提供。

对于ASML在无扩建光刻办法效劳基地,一位半导体业内人士对《今天股市行情网》记者暗示:“因为光刻机比较‘精细’,所以办法运过来之后,装调也是相当重要的一个环节。一般大件、精细、高价值 的办法 都得有专人维护着,好比飞机带动机等,必要有按期的检修之类。 光刻机 出厂,先船运、空运到装置地,股票配资,然后放着期待技术人员装调。以前尼康、佳能的光刻机,光是装调就必要几个月,至少不低于1个月。”

对于装调的重要性,其暗示:“光学办法和其他配备不大一样,光学办法一般都有人数较多的装调团队,而且装调也是光学办法里面一项重要工作,ASML在193nm就是靠装调PK掉了日本的尼康和佳能。”

该业内人士进一步认为,无基地200人的专业技术团队也不必然够,“ 光刻机 这种娇贵的东西,一般维护都很吃力”。此外,据其预计,ASML无技术效劳基地将不只仅效劳无,而是整个长三角地区。

据记者不完全统计,股票配资,目前长三角先进制程 28nm及以下 半导体工厂有中芯国际上海基地 包含中芯南方14nm 、南京台积电工厂、无SK海力士DRAM工厂、合肥长鑫DRAM工厂等。此外,近期华虹半导体基地12英寸消费线实现了高性能90nm FSI工艺平台产品投片。

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